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青山绿水为期不远 电子研磨废水回用系统优势渐显

  在工业生产中,许多半导体企业在生产过程中都会涉及到晶圆研磨工艺。该工艺一般采用处理成本高的超纯水作为冲洗水,所产生的硅粉颗粒细小。传统工艺一般采用简单的絮凝去除,去除效率低,不可避免地会产生硅粉废水,这些废水不能回收利用,只能外排。随着国内环保要求的不断提高,如何减少废水排放,进行废水回用,实现经济效益,已成为环保行业亟待解决的技术问题。

  电子研磨废水中的主要污染物为高浓度悬浮颗粒物、酸清洗剂、碱清洗剂、有机清洗剂和重金属离子。在传统水解酸化+接触氧化工艺的基础上,对该工艺进行了扩展,实现了电子研磨废水回用。系统采用MBR膜作为预处理的安全检查点,确保预处理出水具有良好的水质稳定性。膜浓缩系统配合催化氧化技术和ACF吸附模块,将浓缩和富集的COD去除到可接受的范围。同时,从废水中分离无机盐和有机物,然后进入MVR蒸发器进行浓缩。该系统实现了水资源的高效回收和再利用,解决了大量工业废水排放造成的资源浪费问题。

  在电子研磨废水回用过程中,MBR膜生物反应器膜池保持了较高的微生物量浓度和处理单元的高容积负荷。通过膜系统,废水得到了极大的浓缩和减少,产率可高达98%。该系统能有效去除清洗废水中的铜、钒、镍、铬等重金属,处理效果明显。膜分离工艺用于对生产废水进行分类、收集和处理,然后再回用于生产线。系统配备实时在线监测装置,确保系统长期稳定运行。

  经电子研磨废水回用系统处理后的研磨废水可在车间早期清洗过程中回用,不仅减少了工厂废水对环境的污染,而且有效减少了区域水资源的利用,缓解了企业的用水量。莱特莱德可根据用户要求定制性价比更好的研磨废水处理工艺,确保从制造到生产的所有工艺环节得到有效控制,循环生产模式可有效帮助工业领域的客户提高生产效率,实现清洁生产、节能环保。

 

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